半导体设备专用罗茨真空泵

半导体设备专用罗茨真空泵原理：

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

半导体设备专用罗茨真空泵参数：

型号：PNK MR 9000T

额定流量（50Hz）：9000 m3/h

抽气速率：2500 l/s

极限压力：≤0.05 Pa

最大允许压差：≥5x103 mbar（≥500000 Pa）

马达频率：50 Hz

马达额定功率：18.5 Kw

连接口进气口：ISO320

连接口排气口：ISO250

转数（50HZ）：2900 PRM

重量：1550 Kg

推荐前级泵：PNK MR 2200T/PNK SP 0630

罗茨真空泵维护和保养：

1.保持泵的清洁，以利于通风散热。

2.每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。

3.换油时，罗茨泵先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。

4.拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。

5.当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。

罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备，与前级真空泵（常见的有旋片真空泵， 水环真空泵， 滑阀真空泵，螺杆真空泵等）配合组成泵组后，扩展了前级真空泵在较低入口压力下的工作范围，可广泛的应用于工业用途。

1.提高真空度：

按照一般经验，在配置罗茨真空泵后，系统真空度可提高1个数量级，如配备两级罗茨泵，系统真空度可进一步提高。

2.增大抽速：

罗茨泵的一对转子没有相互接触，可高速运转，因此几何尺寸较小的罗茨泵也能达到较高的抽速。选择合适的前级泵组合后，可使小抽速的前级泵实现抽除大量气体，相比相同抽速的单一前级泵，可明显降低能耗。