半导体螺杆真空泵

半导体螺杆真空泵优势：
快速：缩短了抽气时间，可实现5×10-4 mbar的极限真空
稳定：即使在严苛工业应用中也能可靠运转
智能：板载控制器，具备广泛的通信和自动控制功能
经济：可承受的资本投资，低拥有成本
环保：运转平稳安静，低功率，低水电消耗

螺杆真空泵特征特点：
1. 结构简单紧凑：对旋向相反的螺杆、泵体、端盖、密封件等部件组成，结构非常简单，非常可靠。
2. 抽气腔原件无摩擦：螺杆和泵体之间均有一定间隙。
3. 使用寿命长：由于腔内部部件之间不摩擦，润滑油在非气体过流部分部件中循环。
4. 真空度高：单台螺杆干式真空泵可替代三级罗茨泵水环真空机组。
5. 无污染：无需任何工作介质，因此无油污染，无污水。
6. 噪音低：一般情况下为80分贝左右。
7. 适宜抽可凝性气体（如水蒸气等）、含粉尘的气体。
8. 从大气抽*限压力5Pa，只要一台泵就能解决。
9. 干式运行，溶酶回收更容易。
10. 润滑油在两端，因此无油耗。
11. 可与罗茨泵组成真空系统，获得更高的极限真空度和增大抽速。
12. 可与分子泵组成真空系统，真正达到无油环境。干式螺杆真空泵产品特点：
1.高清洁真空
干式螺杆真空泵的工作腔内没有任何介质
空气不会与任何化学物质接触
不会受到任何污染,气体回收更方便
2.运转无压缩
干式螺杆真空泵在工作时没有任何压力
运转时空气就像经过一个过道一样
不会受到任何挤压,可抽取凝固性气体
3.适用多种恶劣工作环境
干式螺杆真空泵的工作腔及转子表面都采用纳米镀膜技术
(纳米镀瓷、镀铝、镀)
特别适用于制药、化工工艺中的产品蒸馏、干燥、脱气等使用场合。
4.无油机组
干式螺杆真空泵不需使用真空泵油，更环保
可与罗茨泵、分子泵组成无油机组
从而达到更大的流量来满足更多客户的需求

螺杆真空泵行业应用：
真空镀膜、玻璃镀膜、光学器件镀膜、DVD镀膜、真空蒸馏、真空干燥、真空包装、真空搬动、纺织设备、实验室、医疗设备、气力输送、真空烤箱、热处理、半导体、LED、太阳能、工业炉、薄膜太阳能、晶硅太阳能、电子束焊接、气瓶填充。

半导体螺杆真空泵